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    過錳酸鉀溶液輔助複線式鑽石線鋸於單晶碳化矽晶圓加工影響之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 蕭祈暐 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)在材料特性以及機械性質上相較於其他半導體材料,具有更明顯的優勢,如具有高崩潰電壓及低的阻抗,在高功耗應用端以及半導體市場中越來越受矚目,但也…
    • 點閱:341下載:18

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    選擇性電泳沉積輔助複線式鑽石線鋸加工於單晶碳化矽晶圓製程分析研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 黃鼎軒 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽(SiC)晶圓是眾所矚目的第三代半導體材料之一,其低漏電流特性、較高的熱傳導率、寬能隙(WBG)和耐化學性,廣泛應用於高功率及高電壓能量轉換裝置元件,然而碳化矽的硬度和脆性使其鑽石線鋸切割…
    • 點閱:267下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    單晶碳化矽晶圓於複線式鑽石線鋸切割製程之導輪磨耗研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 賴廷寰 指導教授: 陳炤彰
    •   單晶碳化矽(SiC)為第三代半導體材料之一,其在材料特性上擁有許多項優點,如:「低漏電流特性、較高熱傳導率、耐化學性及寬能隙等」,而其高硬度及耐化學性質造成碳化矽基板製造困難,且在複線式鑽石線鋸…
    • 點閱:330下載:0
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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